鍺烷濃度檢測儀如何工作?(鍺烷濃度檢測儀的原理和使用方法)
發(fā)布時間:2023-10-19 01:09:03導語:
鍺烷(GeH4)是一種有機化合物,常用于半導體制造過程中的化學氣相沉積,也是鍺材料的主要前驅(qū)物。然而,公共領域中堅信整個鍺烷氟層處理過程非常危險,可以導致爆炸和毒氣泄漏。因此,檢測工作者,研究人員和制造商必須確保鍺烷濃度保持在安全范圍內(nèi)。為了實現(xiàn)這一目標,鍺烷濃度檢測儀被廣泛采用。
目錄:
I. 鍺烷濃度檢測儀的原理
A. 熱導法
B. 氫化編碼位控制方法
C. 紅外光法
II. 鍺烷濃度檢測儀的使用方法
A. 設備準備

B. 測量過程
C. 數(shù)據(jù)分析和保存
III. 鍺烷濃度檢測儀的優(yōu)勢
A. 高靈敏度
B. 快速響應
C. 實時監(jiān)測
I. 鍺烷濃度檢測儀的原理:
鍺烷濃度檢測儀基于不同的原理來測量鍺烷氣體的濃度,其中一些常用的原理包括:

A. 熱導法:基于電流和溫度的關系,在鍺烷流過熱導線時,電氣參數(shù)的變化可用來計算濃度。
B. 氫化編碼位控制方法:通過計算濃度對觸點的電氣參數(shù)的影響,利用數(shù)字編碼位得到鍺烷氣體的濃度值。
C. 紅外光法:使用特定的紅外輻射源和傳感器,在紅外光的測量區(qū)域中檢測陰影產(chǎn)生的變化以測量濃度。
II. 鍺烷濃度檢測儀的使用方法:
使用鍺烷濃度檢測儀需要按照以下步驟進行操作:
A. 設備準備:確保鍺烷濃度檢測儀正常插電并充分預熱,校準傳感器。
B. 測量過程:將檢測儀的探頭放置于待測區(qū)域,觀察儀表上的濃度數(shù)值,并記錄下來。
C. 數(shù)據(jù)分析和保存:將測得的數(shù)據(jù)輸入到計算機或者數(shù)據(jù)記錄設備中進行分析和保存,以便后續(xù)參考和比較。

III. 鍺烷濃度檢測儀的優(yōu)勢:
使用鍺烷濃度檢測儀可以獲得以下優(yōu)勢:
A. 高靈敏度:鍺烷濃度檢測儀可以快速響應極低濃度下的鍺烷,以確保及早發(fā)現(xiàn)和處理潛在的安全問題。
B. 快速響應:鍺烷濃度檢測儀具有實時響應和濃度更新的能力,以提供及時的警報和反應。
C. 實時監(jiān)測:使用鍺烷濃度檢測儀可以實時監(jiān)測鍺烷濃度的變化,提高工作場所的安全性。
總結(jié):
鍺烷濃度檢測儀利用不同的原理來測量鍺烷氣體的濃度,包括熱導法、氫化編碼位控制方法和紅外光法。在使用過程中,需要進行設備準備、精確的測量和數(shù)據(jù)分析和保存。鍺烷濃度檢測儀具有高靈敏度、快速響應和實時監(jiān)測的優(yōu)勢,可以幫助工作人員及時發(fā)現(xiàn)和處理潛在的安全問題。